Arrangement for mounting an optical element,申请号EP20010118866-传众专利搜索

发明名称	Arrangement for mounting an optical element
摘要
申请公布号	EP1209500(B1)	申请公布日期	2005.10.26
申请号	EP20010118866	申请日期	2001.08.16
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	DIEKER, THOMAS
分类号	G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02	主分类号	G02B7/00
代理机构		代理人
主权项
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