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发明名称 PARTICLE DETECTOR SYSTEM AND METHOD OF THIN FILM FORMING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20050102324(A) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 KR20040027622 申请日期 2004.04.21
申请人 NARAE NANOTECH CO., LTD. 发明人 PARK, SI YOUNG
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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