混合过程原料的方法和设备

摘要

一种混合和提供过程原料的方法和设备。这种方法和设备特别适合于混合超高纯度的化学制品，混合研磨剂与其他化学制品用来抛光半导体晶片，和用于高精确混合的化学制品。

主权项

1.一个混合至少两种物质的系统，包括：混合室其包括第一输入口用来接收第一种物质，第一输入口与第一泵相连，来控制由第一输入口接收的第一种物质的量；和第二输入口用来接收第二种物质，第二输入口与第二泵相连，来控制由第二输入口接收的第二种物质的量；与混合室相连接的重复循环线用来接收第一种物质和第二种物质的混合物，并将第一种物质和第二种物质的混合物返回混合室；传感器，安装在重复循环线上，用来感应第二种物质在第一种物质和第二种物质混合物中的量；控制器，与传感器和第二阀门相连，用来控制由第二输入口进入的第二种物质的量已达到所需的第二种物质在混合物中的浓度。