发明名称 METHOD OF FORMING A PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050102484(A) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 KR20040027888 申请日期 2004.04.22
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHOI, YONG SOO
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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