发明名称 RECYCLING BY MECHANICAL MEANS OF A WAFER COMPRISING A TAKING-OFF STRUCTURE AFTER TAKING-OFF A THIN LAYER THEREOF
摘要
申请公布号 EP1588415(A1) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 EP20040700490 申请日期 2004.01.07
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO;AULNETTE, CECILE;OSTERNAUD, BENEDICTE;AKATSU, TAKESHI;FAURE, BRUCE
分类号 H01L21/762;B44C1/22;H01L21/02;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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