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发明名称 GAP-FILL METHOD IN A SEMICONDUCTOR FABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号 KR20050102000(A) 申请公布日期 2005.10.25
申请号 KR20040027261 申请日期 2004.04.20
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 BAE, KYUNG JIN
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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