发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF FORMING A RECESS GATE ELECTRODE AND METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050102165(A) 申请公布日期 2005.10.25
申请号 KR20040026961 申请日期 2004.04.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HA, JAE KYU;PARK, JONG CHUL
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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