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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SLIT NOZZLE
摘要
申请公布号 KR100523473(B1) 申请公布日期 2005.10.25
申请号 KR20030018409 申请日期 2003.03.25
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;B05B1/04;B05C5/02;C03C17/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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