| 主权项 |
1.一种泵装置,其包含:一泵工作容积;一环绕该工作容积之密封腔室;一用于供应流体至该腔室之导管,该导管包含一流动阻抗,其用于限制到达该腔室之流体的流动速率;以及用于确定一横跨该流动阻抗之压差的构件。2.根据请求项1之泵装置,其中该阻抗系由该导管内之一限制所提供。3.根据请求项1之泵装置,其中横跨该阻抗之流体的流动速率系可使得在该阻抗之一侧上的流体压力之波动不会迅速地传递到该阻抗之另一侧上的流体。4.根据请求项1之泵装置,其中该阻抗系由一多孔烧结材料、一成形于一无孔堵塞件中之毛细管、及一阀所组成之该群中之一者所提供。5.根据请求项1之泵装置,其中用于确定该压差之构件包含至少一压力转换器。6.根据请求项5之泵装置,其中该至少一压力转换器包含一第一压力转换器及一第二压力转换器,该第一压力转换器被配置以输出一指示位于该阻抗之上游处的该导管中之一流体压力之信号,该第二压力转换器被配置以输出一指示位于该阻抗之下游处的该导管中之一流体压力之信号。7.根据请求项6之泵装置,其包含一用于接收来自该第一压力转换器及该第二压力转换器之信号以及用于产生一警报之控制器,该警报系根据藉由该等信号所指示之流体压力的差异而产生。8.根据请求项7之泵装置,其中当横跨该阻抗之压差超出一预定値时产生该警报。9.根据请求项1之泵装置,其中该导管被连接至一用于供应流体至该导管之贮槽。10.根据请求项9之泵装置,其中该贮槽被配置成可供应一清洗气体至该泵装置中之一泵处。11.根据请求项1之泵装置,其中该密封腔室藉由两个O形环密封而被部分地界定。12.根据请求项11之泵装置,其中该等O形环密封系由一弹性材料所构成。图式简单说明:图1系一显示一密封总成之一定子部件之前视图;图2系图1之该密封总成之一侧视图;图3图解展示用于监测该密封总成之完整性之装置;以及图4为一显示在该密封总成内之一气体压力随时间变化之图表。 |
