三刀点晶圆切割刀之改良结构

摘要

本创作系揭露一种三刀点晶圆切割刀之改良结构，其系藉由将位于任两刻划点间的三个直线夹边改良为三个等弧边，以延长切割刀的寿命，并进而大幅度提升切割效益。

主权项

1.一种三刀点晶圆切割刀之改良结构,该三刀点晶圆切割刀系包含一能与一晶圆切割机台相配合之夹持具,与一位于该夹持具上的切割刀具,该切割刀具有一第一刻划点、一第二割划点与一第三割划点,该第一刻划点、该第二割划点与该第三割划点间系具有三个夹边,其改良在于:该三个夹边为三个等弧边。2.如申请专利范围第1项所述之三刀点晶圆切割刀之改良结构,其中该切割刀之材质为钻石。图式简单说明:第1图系习知三刀点晶圆切割刀刀具顶部的俯视示意图。第2(a)图系本创作之三刀点晶圆切割刀之侧视图。第2(b)图系本创作之三刀点晶圆切割刀之俯视图。第3(a)图系本创作之三刀点晶圆切割刀刀具顶部的俯视示意图。第3(b)图系本创作之三刀点晶圆切割刀刀具顶部的侧视示意图。