| 主权项 |
1.一种中空阴极型溅镀靶之包装装置,其特征在于具备:中空阴极型溅镀靶,其大小可包覆该靶之空间部的盖,设置于该盖上之1个或复数个贯通孔,其大小可将靶与盖被覆之树脂制袋,及将袋内部进行真空抽吸之装置。2.如申请专利范围第1项之中空阴极型溅镀靶之包装装置,其中,该盖系透明树脂制。3.如申请专利范围第1项或第2项之中空阴极型溅镀靶之包装装置,其中,该树脂制袋,系氧气及水分无法透过之袋。4.如申请专利范围第1项或第2项之中空阴极型溅镀靶之包装装置,其中,该盖系由具有刚性、真空抽吸后亦能维持形状之平板所构成。5.如申请专利范围第3项之中空阴极型溅镀靶之包装装置,其中,该盖系由具有刚性、真空抽吸后亦能维持形状之平板所构成。6.一种中空阴极型溅镀靶之包装方法,其特征在于:于中空阴极型溅镀靶,设置其大小可包覆该靶之空间部的盖,于该盖上设置1个或复数个贯通孔,以树脂制袋被覆于靶与盖,而将内部进行真空抽吸。7.如申请专利范围第6项之中空阴极型溅镀靶之包装方法,其中,该盖系透明树脂制。8.如申请专利范围第6项或第7项之中空阴极型溅镀靶之包装方法,其中,该树脂制袋,系氧气及水分无法透过之袋。9.如申请专利范围第6项或第7项之中空阴极型溅镀靶之包装方法,其中,该盖系由具有刚性、真空抽吸后亦能维持形状之平板所构成。10.如申请专利范围第8项之中空阴极型溅镀靶之包装方法,其中,该盖系由具有刚性、真空抽吸后亦能维持形状之平板所构成。图式简单说明:图1,系说明本发明之中空阴极型溅镀靶之包装的截面概略说明图。图2,系说明习知之中空阴极型溅镀靶包装时所产生之问题点的截面概略说明图。 |
