| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltungsanordnung mit Hilfsvertiefung, insbesondere mit Ausrichtmarken, und integrierte Schaltungsanordnung |
| 摘要 |
Erläutert wird unter anderem ein Verfahren zum Herstellen von Ausrichtmarken (152, 154). Bei dem Verfahren wird erst planarisiert, bevor Material aus einer Hilfsvertiefung (24) wieder entfernt wird. |
| 申请公布号 |
DE102004014676(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.20 |
| 申请号 |
DE20041014676 |
申请日期 |
2004.03.25 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
HEITZSCH, OLAF;GOLLER, KLAUS;NICHTERWITZ, MARION |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/544 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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