| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050101128(A) |
申请公布日期 |
2005.10.20 |
| 申请号 |
KR20050084557 |
申请日期 |
2005.09.12 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
KONDO SEIICHI;HOMMA YOSHIO;SAKUMA NORIYUKI;TAKEDA KENICHI;HINODE KENJI |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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