| 发明名称 |
METHOD FOR SELECTIVE COATING OF A COMPOSITE SURFACE PRODUCTION OF MICROELECTRONIC INTERCONNECTIONS USING SAID METHOD AND INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
<p>La présente Invention est relative à un procédé de revêtement sélectif sur certaines zones d'une surface composite par un film conducteur, à un procédé de fabrication d'interconnexions en microélectronique, ainsi qu'à des procéd és et méthodes de fabrication de circuits intégrés, et plus particulièrement à la formation de réseaux d'interconnexions métalliques, ainsi qu'aux procédés et méthodes de fabrication de microsystèmes et de connecteurs.</p> |
| 申请公布号 |
CA2560658(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.20 |
| 申请号 |
CA20052560658 |
申请日期 |
2005.03.22 |
| 申请人 |
ALCHIMER |
发明人 |
BUREAU, CHRISTOPHE;AMEUR, SAMI |
| 分类号 |
C23C18/16;B05B1/34;B05B11/00;B05B11/04;C23C18/30;C23C18/31;H01L21/288;H01L21/768 |
主分类号 |
C23C18/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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