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发明名称
XY SCANNER IN SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD OF DRIVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100523031(B1)
申请公布日期
2005.10.20
申请号
KR20030037510
申请日期
2003.06.11
申请人
发明人
分类号
H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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