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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer Membranstruktur mit verschlossenen Perforationsöffnungen, welche einen Hohlraum überspannt, bei dem DOLLAR A - auf einem Substrat wenigstens eine feinporige Schicht erzeugt wird, DOLLAR A - durch einen die feinporige Schicht durchdringenden Ätzvorgang ein von wenigstens der feinporigen Schicht überspannter Hohlraum unter der feinporigen Schicht erzeugt wird, DOLLAR A - auf der feinporigen Schicht eine Verschlussschicht erzeugt wird, welche die feinporige Schicht wenigstens teilweise überdeckt.
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