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经营范围
发明名称
METHOD OF MANUFACTURING CAPACITOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100522427(B1)
申请公布日期
2005.10.20
申请号
KR20020086498
申请日期
2002.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/824
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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