发明名称 Halbleiterwafer und diesen benutzendes Halbleitervorrichtungs-Herstellungsverfahren, sowie ein Halbleitervorrichtungs-Herstellungsverfahren welches diesen Halbleiterwafer verwendet
摘要 Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung wird ein Halbleiterwafer vorbereitet (S1, S2), der eine Mehrzahl von IC-Chips (1) beinhaltet, von denen jeder einen Schaltkreis (4) mit einem Anschluß (3) zum Anlegen einer elektrischen Größe an dem Schaltkreis und einen Schalter (5) aufweist, der elektrisch mit einem Anschluß (3) in Verbindung steht. Eine Verdrahtung (2) ist zwischen benachbarten IC-Chips ausgebildet, um eine elektrische Parallel- oder Serienverbindung zwischen den Anschlüssen (3) der IC-Chips über den Schalter (5) zu bilden. Ein Test wird durchgeführt (S3), um die Betriebsfähigkeit (fehlerhaft oder nicht-fehlerhaft) eines jeden der IC-Chips (1) zu bestimmen. Der Schalter (5) wird dann betätigt (S4), um eine elektrische Verbindung zwischen den Anschlüssen (3) nur derjenigen IC-Chips, welche als nicht-fehlerhaft bestimmt wurden und der Verdrahtung (2) herzustellen. Ein Leitfähigkeitstest wird an den Schaltkreis (4) der IC-Chips (1) über die Verdrahtung (2) durchgeführt (S5).
申请公布号 DE102005014156(A1) 申请公布日期 2005.10.20
申请号 DE20051014156 申请日期 2005.03.29
申请人 DENSO CORP., KARIYA 发明人 KUTSUNA, YUJI
分类号 G01R31/02;G01R31/28;G11C29/00;H01L21/66;H01L21/78;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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