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发明名称 BOGENVERDAMPFER MIT INTENSIVER MAGNETFÜHRUNG FÜR GROSSFLÄCHIGE TARGETS
摘要
申请公布号 DE60105856(T2) 申请公布日期 2005.10.20
申请号 DE20016005856T 申请日期 2001.03.27
申请人 FUNDACION TEKNIKER, EIBAR 发明人 GOIKOETXEA LARRINAGA, JOSU
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/35;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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