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发明名称
摘要
申请公布号 JP3706903(B2) 申请公布日期 2005.10.19
申请号 JP20000243053 申请日期 2000.08.10
申请人 发明人
分类号 G01P15/09;C30B29/16;C30B29/22;C30B29/38;G01H11/08;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/18;H02N2/00;H02N2/18;(IPC1-7):G01P15/09 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
主权项
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