用于溅射的电源装置和使用该装置的溅射设备

摘要

本发明提供用于溅射的电源装置，通过在放电开始压力以下实现稳定的溅射，使由于与用于溅射的惰性气体的碰撞产生的溅射粒子的散射减少，可以改善阶梯覆盖度和改善溅射膜的致密性。按照本发明，提供用于溅射的电源装置，它包括溅射用直流电源(A)，与该直流电源连接的恒流电路(B)，与该恒流电路(B)连接的溅射源(21)，和进行控制使从恒流电路(B)输出的电流变为恒定电流的控制部分(11)。

主权项

1.一种用于溅射的电源装置，它包括：溅射用直流电源和溅射源，其特征在于，还包括：与该直流电源连接的恒流电路，该恒流电路与溅射源连接；电流检测器，其两端与控制部分连接，用于检测恒流电路中流动的电流值，并将其送到控制部分，以及控制部分，根据上述电流检测器的输出进行控制，使从所述恒流电路输出的电流使之成为恒定电流。