固态摄像装置及其制造方法

摘要

可以通过其中在衬底深处设有溢出阻挡层的结构防止相邻像素之间的串扰。在纵向转移寄存器(124)和沟道停止区域(126)的下层区域的预定位置处提供一部分P型区域(150)。该P型区域(150)用于调节纵向转移寄存器(124)和沟道停止区域(126)的下层区域中的电势，以从纵向转移寄存器(124)的最小电势位置到溢出阻挡层(128)的范围内使得该电势可以变得比光传感器122的下层区域的电势小。因此，由于纵向转移寄存器124和沟道停止区域126的下层区域中的电势在下层区域两侧都低，由传感器区域光电转换得到的电荷被该势垒阻挡，不能容易地扩散。这样就可以防止相邻像素之间的串扰。

主权项

1.一种固态摄像装置，其包括：一光传感器部分，设置在衬底表面上以将入射光转换为电荷；一转换部分，形成在所述衬底的表面上以转移读取自所述光传感器部分的所述电荷；以及一形成在所述衬底之内的溢出阻挡层，以释放所述电荷中多余的电荷，其中在从最小电势位置到所述溢出阻挡层的范围内，沿着所述衬底的深度方向，所述转移部分之下的电势形成得比所述光传感器部分之下形成的电势小。