发明名称 |
压电振子、使用其的滤波器和压电振子的调整方法 |
摘要 |
本发明的压电振子的特征在于,是将氧化硅膜(3)作为电介质膜而设置的层叠结构。通过采取上述结构,减小了由于在压电板(1)的两主面上存在电介质膜的缘故而起因于长期的应力缓和的差的对压电板(1)或电介质膜起作用的内部应力的差,可尽可能减小翘曲。具有可减小因压电振子发生翘曲引起的压电振子的共振频率的变化的效果。 |
申请公布号 |
CN1685610A |
申请公布日期 |
2005.10.19 |
申请号 |
CN200380100149.7 |
申请日期 |
2003.10.24 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
佐佐木幸纪 |
分类号 |
H03H9/02;H03H9/58;H01L41/08 |
主分类号 |
H03H9/02 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1.一种压电振子,其特征在于,由下述部分构成:具有第一面和第二面、极化方向是厚度方向的压电板;覆盖上述第一面的第一电极;覆盖上述第二面的第二电极;覆盖上述第一电极的第一电介质膜;以及覆盖上述第二电极的第二电介质膜,上述压电板以厚度纵振动为主振动,上述第一电介质膜和上述第二电介质膜的面积大致相同并具有大致相同的厚度。 |
地址 |
日本大阪府 |