| 发明名称 | 利用动态液体弯液面的基板处理方法和系统 | ||
| 摘要 | 一种用于将弯液面从第一表面移动到第二表面的系统和方法，其包括在接近头与第一表面之间形成弯液面。该弯液面可以从第一表面移动到相邻的第二表面，并且该相邻的第二表面平行于第一表面。该用于移动弯液面的系统和方法也可以用于沿基板的边缘移动弯液面。 | ||
| 申请公布号 | CN1685471A | 申请公布日期 | 2005.10.19 |
| 申请号 | CN03823336.3 | 申请日期 | 2003.09.29 |
| 申请人 | 拉姆研究公司 | 发明人 | 卡尔·A·伍兹;詹姆士·P·加西亚;约翰·M·D·拉芮奥;迈克尔·瑞夫肯;佛瑞德·C·瑞德克 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 1、一种用于将弯液面从第一表面移动到第二表面的方法，包括：在接近头和第一表面之间形成弯液面；以及将所述弯液面从所述第一表面移动到相邻的第二表面上，该第二表面与所述第一表面平行。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||