发明名称 |
浆料施放器及其控制方法 |
摘要 |
浆料施放器及其控制方法,用于在一基板上施放所期望的浆料图案的浆料施放器包括:工作台,用于在其上可拆卸地设置所述基板;喷嘴,该喷嘴具有与设置在所述工作台上的所述基板的主表面相对的浆料排放口,用于在进行对于所述工作台的相对移动时将浆料排放到所述基板上;以及截面测量装置,用于在静止状态下测量所述基板上的浆料图案的截面,而不需要相对于所述基板移动。 |
申请公布号 |
CN1684206A |
申请公布日期 |
2005.10.19 |
申请号 |
CN200410048339.5 |
申请日期 |
2004.06.25 |
申请人 |
TOPENGINEERING株式会社 |
发明人 |
方圭龙;徐容珪 |
分类号 |
H01C17/06;H05K3/10;H01L21/00;H01L21/56 |
主分类号 |
H01C17/06 |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
李辉 |
主权项 |
1.一种浆料施放器,用于在一基板上施放所期望的浆料图案,其包括:工作台,用于在其上可拆卸地设置所述基板;喷嘴,该喷嘴具有与设置在所述工作台上的所述基板的主表面相对的浆料排放口,用于在进行对于所述工作台的相对移动时将浆料排放到所述基板上;以及截面测量装置,用于在静止状态下测量所述基板上的浆料图案的截面,而不需要相对于所述基板移动。 |
地址 |
韩国庆尚北道 |