具有感测结构的半导体器件

摘要

本发明描述了一种具有多个单元的功率半导体器件，这些单元分为功率单元(14)和感测单元(16)。提供了多组(30、32)感测单元(16)。该器件允许对各组感测单元(16)边缘引起的效应进行补偿。

主权项

1.一种功率半导体器件，包括：第一主端子(44)与第二主端子(46)，至少其中之一用于耦合负载(52)；控制端子(48)；以及半导体主体(2)，该半导体主体具有对立的第一和第二主要表面(114、116)以及在半导体主体的第一主要表面(114)上排列成网格的多个单元(12)，所述单元(12)分为主单元(14)和感测单元(16)，每个单元具有与控制端子(48)连接的栅极或基极，其中每个主单元(14)并联地连接在第一和第二主端子(44、46)之间，以在控制端子(48)的控制之下耦合第一和第二主端子(44、46)；该功率半导体器件还包括第一和第二感测端子(40、42)；该感测单元分为多组感测单元(30、32)，每组感测单元在网格上排列成一个图形，每组感测单元并联地连接在各个感测端子(40、42)与第二主端子(44)之间；以及第一组感测单元(30)在网格上排列成一个图形，该图形的边缘单元与内部单元之比不同于第二组感测单元(32)，内部感测单元(34)被该组的其它感测单元包围，且边缘感测单元(28)则排列在该组感测单元的边缘。