发明名称 Chemical amplification type positive resist composition
摘要
申请公布号 GB0518228(D0) 申请公布日期 2005.10.19
申请号 GB20050018228 申请日期 2004.03.11
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G11B5/31;G11B5/39 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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