| 发明名称 | 平版印刷装置和器件制造方法 | ||
| 摘要 | 一种用于调整由光引擎相对于基板而产生的构图光束在基板上位置的方案。该方案相对单独可控制元件阵列移动聚焦元件阵列，每个聚焦元件将部分构图光束聚焦到基板的点上，以赋予该构图光束图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1684002A | 申请公布日期 | 2005.10.19 |
| 申请号 | CN200510069735.0 | 申请日期 | 2005.02.25 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | C·－Q·贵;A·J·A·布鲁因斯马;P·W·H·德亚格尔;W·J·韦内马 |
| 分类号 | G03F7/20;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种平版印刷装置，包括：照明系统，其提供辐射投影光束；单独可控制元件阵列，用于在其横截面上赋予投影光束一图案；支撑基板的基板台；投影系统，其将构图光束投影到基板的靶部上，所述投影系统包括聚焦元件阵列，每个聚焦元件都将部分构图光束投影到基板的部分靶部上；和致动系统，其相对于单独可控制元件阵列移动聚焦元件阵列。 | ||
| 地址 | 荷兰维尔德霍芬 | ||