| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING OPTICAL THIN FILM UTILIZING SPUTTER DEPOSITION METHOD AND THE THIN FILM MADE BY THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050100542(A) |
申请公布日期 |
2005.10.19 |
| 申请号 |
KR20040025942 |
申请日期 |
2004.04.14 |
| 申请人 |
AVATEC CO., LTD. |
发明人 |
SEONG, DEUG GI;PARK, MYUNG SIK;LEE, JUNG HYUN |
| 分类号 |
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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