| 发明名称 | 互连阶段的工艺控制 | ||
| 摘要 | 一种用于在互连阶段执行工艺控制的方法和装置。在工件上进行工艺步骤。取得工件上与互连位置有关的制造数据。按照该制造数据进行互连特征控制过程。该互连特征控制过程包括控制关于与该工件互连位置有关的结构的工艺，以控制与该互连位置相关的特征。 | ||
| 申请公布号 | CN1685494A | 申请公布日期 | 2005.10.19 |
| 申请号 | CN03823251.0 | 申请日期 | 2003.09.19 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | R·J·张;E·O·格林 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
| 主权项 | 1.一种方法，包括：在工件上执行工艺步骤；取得与该工件上的互连位置有关的制造数据；以及按照该制造数据执行互连特征控制过程，该互连特征控制过程包括控制与该工件上的互连位置有关的结构相关的工艺，以控制与该互连位置有关的特征。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||