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发明名称 MICROSCOPE SYSTEM BEING CAPABLE OF OBSERVING PLURAL ALIGNMENT MARKS SIMULTANEOUSLY
摘要
申请公布号 KR20050100170(A) 申请公布日期 2005.10.18
申请号 KR20040025364 申请日期 2004.04.13
申请人 SHINU MST CO., LTD. 发明人 CHOI, HYUN TAE
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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