微影装置及器件制造方法

摘要

本发明揭示一种微影装置。该微影装置包含一照明系统，用以于欲被置放于辐射光束的光束路径中的平坦物件上提供一辐射光束；以及一物件操纵器，用以于置放或移走该物件期间来操纵该物件。该物件操纵器包含一电极与一介电层，用以形成一静电钳止部，以便以静电方式来钳止该物件。