支撑架

摘要

本发明系提供一种支撑架，其包含有至少一个设置于曝光机之光源产生器与主机工作机台之间的H型钢(H–beam)用以支撑曝光机之光轴传输管路，至少一个设于H型钢之第一部位的支撑元件，一设于该H型钢之第二部位的信号发射器，以及一设于该H型钢之第三部位的信号接收器，用来侦测光轴偏移之现象。