| 摘要 |
一种含芙阻剂，包括：一阻剂；以及一0.005～0.05％(w／v)的C60或C70，以含芙阻剂材料为基准。一种含芙阻剂的制备方法，包括：将一C60或一C70溶于一溶剂中，形成一溶液；以及混和上述溶液与一阻剂，其中该C60或该C70在含芙阻剂材料中的浓度为0.005～0.05％(w／v)。一种含芙阻剂的微影制程，包括：将一C60或一C70溶于一溶剂中，形成一溶液；混和上述溶液与阻剂，形成一含芙阻剂，其中该C60或该C70在含芙阻剂材料中的浓度为0.005～0.05％(w／v)；将上述含芙阻剂置于一基底上，形成一阻剂层；以及图案化上述阻剂层。 |
