| 摘要 |
本发明之目的是提供用以作成模式之装置及方法，可以取得有关之制程状态，利用与品质之相关性之预测，根据未置入之多种资讯，可以用来推测对象品之品质。本发明之解决手段是模式作成装置10在实行构成制程之各个制程步骤之期间中，输入与以时间系列取得之制程状态有关之资讯之制程状态资讯，和被该制程处理过之对象品之检查结果资讯，用来作成制程－品质模式藉以表示从制程状态资讯抽取之制程特征量和检查结果资讯之关系。特征量抽取部10b抽取每一个单位对象品和每一个制程步骤之制程特征量。解析部10e系使用藉由相关单位对象品相同而具有对应之制程特征量和检查结果资讯，且利用资料抽取(data mining)实行解析，用来作成制程－品质模式。 |
