在基板中用于产生订制的倾斜蚀刻之设备及制程

摘要

本发明揭示一种在基板中用于产生订制的倾斜蚀刻之设备及制程。一解说性制程可包含以下步骤：提供具有要蚀刻的一表面之一基板；提供一控制层于该基板之该表面上；形成一遮罩于该控制层上；然后采用可变速率选择性地蚀刻该各控制层与该基板，以在该基板中形成一倾斜蚀刻。