化合物半导体基板

摘要

提供能以微观粗糙度等级来改善磊晶层之表面状态的磊晶成长用基板。于磊晶成长用基板中，将向基板表面入射来自特定之光源的光线时所获得的散射光之强度，以来自前述光源之入射光强度除得之值定义为雾度时，则设雾度在整个基板的有效利用领域为2ppm以下，自面方位之偏角为0.05～0.10°。