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经营范围
发明名称
小批次基材承载件
摘要
本发明的第一态样系提供一种用以开启一基材承载件的基材承载件门之设备。该设备包括一支撑构件,其系适合(1)在一载入埠支撑该基材承载件门;(2)可以使该门从该基材承载件移除;以及(3)枢转该已移除之门至该基材承载件的一底面下方。本发明也提供许多其他态样。
申请公布号
TW200534352
申请公布日期
2005.10.16
申请号
TW094103762
申请日期
2005.02.04
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
伊里亚德马丁R ELLIOTT, MARTIN R.;莱斯麦可R RICE, MICHAEL R.;哈德俊杰佛利C HUDGENS, JEFFREY C.;英格哈德特艾力克A ENGLHARDT, ERIC A.;贝利斯凯伟克特
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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