应用于制程参数具多重品质特性与交互作用参数组合最适化方法

摘要

本发明主要为在考虑制程参数间存在交互作用下，且具多重品质特性的制程参数组合最适化方法。本发明共分三个阶段。第一阶段以全因子实验并利用可辨识矩阵方法(Discernibility matrix)有效地分析出影响制程的主要参数。第二阶段将影响制程的主要参数，利用田口方法在考虑参数间的交互作用下，依所得直交表来进行实验，并以S／N比分析其实验结果，然后以预测值分析法判断及求出各品质特性下的因子水准最佳组合。第三阶段针对所求得之各品质特性下最佳参数组合，以整体灰关联分析法来解决制程参数在具多重品质特性下的水准冲突问题，以求出一组最适化的制程参数组合。