高频探针测试装置及其测试方法

摘要

本发明揭示一种测试装置，可用于量测高频用探针。该装置包含一基板，具有一第一表面及一第二表面；两条传输线段，置于该基板之第一表面，且该两条传输线段之各一端系互相对应；一沟槽，置于该基板之第一表面之中间区域；以及一对测试用接头，分别连接于该两条传输线中非相对应之另两端，以提供测试仪器与测试装置之连接功能。本发明亦揭示使用该装置之方法，且更提供一种使用该装置以得到访高频探针之等效电路之方法。使用根据本发明之测试装置能有效降低测试成本及提高测试效率。