电脑执行之晶圆批次追踪方法及晶圆批次追踪系统

摘要

一种晶圆批次追踪系统，用以在半导体制造过程中，追踪由第一生产线转移到第二生产线之晶圆批次。该晶圆批次追踪系统包括与该第一生产线连结之第一制造执行系统、与该第二生产线连结之第二制造执行系统、及第一调度系统。该第一调度系统系与该第一制造执行系统及该第二制造执行系统连结，用以监视该晶圆批次在该第一生产线和该第二生产线之间的移动，其系藉由将复数状态中之一种指定给该晶圆批次而为之。