| 摘要 |
本文揭示一种制造一具有高形成精确度之微结构之方法及其制造系统。在一具有一预定之定位精确度及一大冲程长度之粗糙运动平台51上置放一具有一小冲程长度及一高于该粗糙运动平台51之定位精确度之定位精确度的精密运动平台52。首先，将该粗糙运动平台51移动至一所要之位置。藉由使用置放于一雷射长度量测机器64上之一镜面55及该精密运动平台52，以一高精密度来量测在该精密运动平台52上之一薄膜部件25的当前位置。将该雷射长度量测机器64之一量测值回馈至一平台控制装置61，并藉由一误差校正单元63来计算一在该当前位置与一目标位置之间的差值。因此，产生一误差校正指令值，且藉由该误差校正指令值将该精密运动平台52移动至该目标位置。该粗糙运动平台51之误差得到了校正。 |
