用来量测导电膜性质之排成阵列、群集、或耦合的涡电流感测器结构用之方法与设备

摘要

一种用以于膜厚度量测期间将检查点尺寸及杂讯减至最小的方法。此方法开始为定位第一滴电流感测器朝向与导电膜相关的基板之第一个表面。此方法包括定位第二涡电流感测器朝向与导电膜相关的基板之第二个表面。第一个及第二涡电流感测器可共享共同的1或可彼此偏位。此方法更包括交流电力供应至第一涡电流感测器及第二涡电流感测器，以便使第一滴电流感测器及第二涡电流感测器一次一个有电力。于本发明的一个实施态样中，将延迟时间并入于第一涡电流感测器及第二涡电流感测器间切换电力之间。此方法也包括基于来自第一涡电流感测器及第二涡电流感测器的信号组合计算膜厚度量测。