| 摘要 |
电浆天线经设计成允许天线内之电子元件间之连接在化学气相沉积处理期间在不改变天线结构之情况下发生变化，藉此将清洗或沉积处理之效率最大化。该电浆天线包括两个或两个以上分别从一RF电源得到RF功率供应之线圈，及一连接至该等线圈末端之开关。该等线圈构造成具有不同阻抗。可基于一电感性耦合之电浆天线在不改变该天线结构之情况下改变该电浆天线之电路结构，以根据处理类型(诸如，清洗或沉积)产生并联类型电浆、串联类型电浆或电容性耦合电浆，使得可有效地执行该处理，藉此藉由归因于天线简单结构之生产成本之降低来提高生产力。 |
