发明名称 涂漆半导体基材的方法
摘要 本发明提供一涂漆基材的方法,特别是半导体基材,其表面具有三维拓朴者。为此目的,基材被喷以被以溶剂加以改质之漆,随后,所施加之漆在一溶剂气氛中被均质化。该涂漆程序可以然后以烘焙该漆层加以完成。
申请公布号 TW200534044 申请公布日期 2005.10.16
申请号 TW093133877 申请日期 2004.11.05
申请人 苏士微科技印刷术股份有限公司 发明人 吉尔强 哈普那
分类号 G03F7/16;B05D3/04;B05D3/10 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 德国