用于处理碟状构件,特别是晶圆之处理的装置

摘要

本发明系有关一种处理一碟状构件，特别是处理晶圆之装置，包含机器人装置其适合于一界定移动平面进行至少角向移动，以及终端作用器装置其用来夹持该碟状构件，其中该装置包含一腕构件操作式互连该机器人装置与该终端作用器装置；其中该腕构件及该机器人提供该碟状构件之倾斜移动，系经由该终端作用器以与经对称性划分之表面同平面之第一轴线为中心移动，以及以垂直该移动平面之第二轴线为中心移动之组合移动来达成倾斜移动。