| 摘要 |
一种微小试片取放方法及其装置(E)，用以对于一晶圆或晶粒或生物有机体上所切割下来之微小TEM试片进行吸取，随后并将此TEM试片放置于一碳膜之上。取放装置(E)包括一撷取单元(1)与一电源供应单元(2)。撷取单元(1)具有一作用面(120)，此作用面(120)系用以与TEM试片(M)之间进行接触。电源供应单元(2)系包括有一第一连接部(21)与一第二连接部(22)。当电源供应单元(2)之第一连接部(21)以相对于第二连接部(22)而连接于撷取单元(1)且持续进行增加电压的作用下，于撷取单元(1)之作用面(120)之极性(负)系相反于电源供应单元(2)之第一连接部(21)的极性(正)，如此可藉由撷取单元(1)之作用面(120)之吸引力以吸附位于晶圆之上的TEM试片(M)，随后调整电源供应单元(2)之极性及电压，如此即可藉由撷取单元(1)之作用面(120)之排斥力将其所吸附TEM试片(M)放置于碳膜之上。 |
