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发明名称
电容检测型感测器元件
摘要
本发明之课题在于提供一种可确保背电极的机械强度之电容检测型感测器元件。本发明之电容检测型感测器元件(10)系包含相互对向而设置之矩形的振动板(11)及平面状的背电极(12),且包含邻接振动板(11)的各边而设置,且于邻接振动板(11)的一侧上具备预定长度的边之固定部(14)。背电极(12)系藉由固定部(14),在与振动板(11)之间具有空间(13)之状态下支撑。背电极(12)之未由固定部(14)所支撑之邻接的固定部之间为直线,整体系形成为八角形。
申请公布号
TW200533901
申请公布日期
2005.10.16
申请号
TW094104148
申请日期
2005.02.14
申请人
东京威力科创股份有限公司;星电股份有限公司
发明人
加川健一;八壁正巳;佐伯真一;大贵久
分类号
G01L9/12;H01L29/84
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
日本
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