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发明名称
电镀设备及方法
摘要
本发明包括一种金属电镀设备及方法,特别适合于自动催化的(也就是,无电的)电镀,其包含了一种加压的可密封容器,其为配置一种即将被电镀的基板以及为电镀溶液之循环所用,其中该温度和压力为高度可控制者。
申请公布号
TW200533791
申请公布日期
2005.10.16
申请号
TW094103581
申请日期
2005.02.04
申请人
塞非特 科技股份有限公司
发明人
马丁 布雷客;罗伯 纬恩 伯拿;杰若 米诺格;佛南度M. 桑切士;梅瑟 汉能;汤马司P. 哥雷也枸
分类号
C25D19/00;C25D7/12
主分类号
C25D19/00
代理机构
代理人
李衍志
主权项
地址
美国
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