平面显示装置之制造装置

摘要

本发明以以下之方式构成：设有时常测定雷射光之空间强度分布及光轴之偏离的机构，于入射至雷射光整形光学元件之入射雷射光偏离特定条件时，处理测定之信号，基于该处理结果，藉由插入于构成配置于光轴中之光束放大器之透镜之焦点位置的空间滤波器，将入射至雷射光整形光学元件之雷射光之光束形状、光束直径、入射位置时常保持为特定之条件。藉此，可于构成平面显示装置之显示面板的绝缘基板上，以高良率形成具有稳定且均一之结晶性的矽薄膜。